Teknoloji gravure Ion gwo bout bwa se yon teknoloji pwosesis ultra-amann ki soti nan ane 70 yo nan 20yèm syèk la ak devlopman nan aparèy solid nan direksyon lajè liy sub-micron, ki sèvi ak efè a sputtering nan bonbadman gwo bout bwa ion sou sifas solid yo dezabiye. jeyometri ki nesesè sou aparèy la trete.
Konpare ak D', kowozyon chimik, kowozyon ikid ki nan san, sputtering ikid ki nan san ak lòt pwosesis, ion gwo bout bwa grave gen karakteristik sa yo:
(1) Li pa selektif pou materyèl trete yo, epi nenpòt materyèl ki gen ladan kondiktè, semi-conducteurs, ak izolan ka grave.
(2) Li gen kapasite pwosesis ultra-amann. Li se kapab grave modèl Groove trè byen, ki nan seri a micron ak sub-mikwon, e li ka menm grave liy osi piti ke 0.008 μm.
(3) Gravure gen bon direksyon ak rezolisyon segondè. Echantiyon li yo se direksyon bonbade pa yon gwo bout bwa iyon kolimated nan yon vakyòm, ki se yon grave direksyon ki ka simonte inevitab perçage ak grave fenomèn nan pwosesis chimik mouye, ak kwen nan modèl la grave se byen file ak klè. Segondè rezolisyon. Presizyon an ka rive nan 0.1 ~ 0.01μm, ak brutality sifas la pi bon pase 0.05μm.
(4) Pwosesabilite fleksib ak bon repetibilite. Paske dansite gwo bout bwa a, enèji, ang ensidan an, mouvman oswa vitès wotasyon tab la materyo ak lòt paramèt k ap travay nan gwo bout bwa a ion ka kontwole poukont li epi avèk presizyon nan yon seri jistis lajè, li fasil jwenn kondisyon yo pwosesis pi bon pou echantiyon diferan. , ki ka pa sèlman kontwole pant lan nan miray la bò nan liy lan, men tou, kontwole pwofondè nan Groove a chanje selon yon fonksyon sèten (pwofondè nan Groove a ki chanje dapre yon sèten fonksyon yo rele pwofondè pondération).
(5) Dezavantaj nan grave ion gwo bout bwa se ke gen yon fenomèn nan re-depozisyon (efè re-depozisyon) nan materyèl sputtered. Li bezwen adrese nan pratik.